|
型? 号 |
MF-A(B)505B |
MF-A(B)1010B |
MF-A(B)
2010B |
MF-A(B)
2017B |
MF-A(B)
3017B |
MF-A(B)
4020B |
XY测量范围 |
50×50mm |
100×100mm |
200×100mm |
200×170mm |
300×170mm |
400×200mm |
工作台尺寸 |
280×280mm |
350×280mm |
410×342mm |
510×342mm |
610×342mm |
Z轴行程 |
150mm |
220mm |
目? 镜 |
单目镜头或双目镜头选择一种规格,目镜为10X |
物? 镜 |
标准配置为3X,可选配:1X,5X,10X,20X,50X,100X |
调焦方式 |
手动调焦(粗调每转10mm,微调每转0.1mm) |
分辨率 |
0.001mm/0.0005mm/0.0001mm可切换 |
测量精度 |
XY轴:(2.5+0.02L)μm L:为测量长度 符合JIS B 7153标准
Z轴:(5+0.04L)μm L:为测量长度 |
●说明:MF-A表示2轴型,即XY两轴测量;MF-B表示3轴型,即XYZ三轴测量 |